Evactron E50 Plasma Decontaminator-Hitachi/JEOL，產(chǎn)品型號(hào)：91000-01。

Evactron E50 Plasma Decontaminator-Hitachi/JEOL，描述：

Evactron E50 除污器是緊湊、高性能但簡(jiǎn)化的等離子清潔器，適用于電子和離子束儀器，如 SEM、TEM 和 FIB。E50 提供高功率清潔以實(shí)現(xiàn)很好的分辨率和成像，并改進(jìn)受污染影響的檢測(cè)器和探頭靈敏度。Evactron E50 等離子自由基源的緊湊設(shè)計(jì)使其成為適用于 SEM/FIB 腔室、負(fù)載鎖或樣品制備腔室的多功能解決方案。Evactron E50 等離子清潔器可在各種壓力下提供快速、有效和強(qiáng)大的清潔，從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、無(wú)偽影的圖像并提高樣品分析的效率。

特征：

• 射頻功率：75W 峰值，50W 連續(xù)

• 使用等離子和紫外線余輝的雙重清潔

• 節(jié)能射頻空心陰極等離子體 (RFHC)

• 高真空下的“爆破"點(diǎn)火

• 可編程功率、清潔時(shí)間、循環(huán)次數(shù)、配方

• 藍(lán)牙安卓平板或有線觸摸板編程

• 寬范圍壓力操作：0.3 Pa/ 2 mTorr 至 80 Pa/ 600 mTorr

• 可選的外部互鎖連接

• 兼容 TMP，無(wú)需提前排氣

• 快速清潔，比上一代 Evactron 型號(hào)快 100 倍以上

• 不損壞敏感元件——無(wú)濺射蝕刻

• PRS 可以安裝在 SEM 室或裝載鎖上

• 按鈕清潔操作

• 等離子點(diǎn)火無(wú)需匹配或氣體流量調(diào)整

• TUV、NRTL、SEMI 和 CE 合規(guī)性測(cè)試待定

上海牧榮生物科技有限公司

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